제품 개요
반도체 제조 도구의 적용을 요구하도록 설계된 정밀 엔지니어링 순수 철 리벳. 우리의 리벳은 신뢰할 수있는 기계적 고정을 제공하면서 매우 세련된 환경 및 부식성 공정 가스와의 호환성을 유지합니다. 99.9% 순수 철 (FE)에서 제조 된이 구성 요소는 반도체 제조 시스템의 순도, 치수 정확도 및 표면 무결성에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
반도체 도구를위한 순수한 철 리벳은 무엇입니까?
반도체 제조는 오염 및 재료 특성을 극도로 제어해야합니다. 표준 스틸 패스너는 원치 않는 금속 불순물 또는 가변 자기 특성을 도입 할 수 있습니다. 우리의 순수한 철 리벳은 특수 솔루션을 제공합니다.
초경 금속 오염 : 민감한 공정 또는 웨이퍼 수율을 잠재적으로 마이그레이션하고 손상시킬 수있는 최소화 수준의 임계 오염 물질 (예 : CU, NI, CR, ZN, MN).
예측 가능한 재료 거동 : 고순도 철은 정밀 도구 및 고정물에 중요한 일관된 물리적 특성 (연성, 연질) 및 제어 자기 투과성을 제공합니다.
입자 생성 위험 감소 : 신중한 제조 및 취급 공정은 입자 공급원이 될 수있는 표면 결함을 최소화하는 것을 목표로합니다.
호환성 : 반도체 도구에서 발견되는 고혈압 또는 제어 된 대기 환경에서 사용하기에 적합합니다.
주요 기능 및 혜택 :
1. 고순도 철 코어 :
표준 강과 비교하여 상당히 감소 된 미량 원소로 제형.
Typical High Purity Levels (e.g., >99.8% Fe, 또는 해당되는 경우 4N과 같은 등급을 지정하십시오).
금속 오염과 관련된 위험을 완화하는 데 도움이됩니다.
2. 진공 밀봉 옵션 (적극 권장) :
사용 가능한 포장은 보관 및 운송 중 대기 산화로 인한 리벳을 방패하는 데 도움이됩니다.
표면 무결성을 유지하고 잠재적 인 산화물 입자 생성을 줄이는 것을 목표로합니다.
확장 된 유효 기간 및 사용 가능한 조건을 지원합니다.
3. 재료 일관성 및 신뢰성 :
정밀 어셈블리에서 신뢰할 수있는 성능을 위해 설계되었습니다.
순수한 철의 높은 연성 특성을 제공합니다.
민감한 도구 환경에 적합한 제어 자기 특성.
4. 공급 업체는 반도체 요구에 중점을 둡니다.
오염 제어 요구 사항 이해 (AMC, 입자).
재료 인증 및 추적 성을 제공 할 수있는 기능.
반도체 도구의 대상 응용 프로그램 :
진공 챔버 성분 및 비품의 조립
내부 공구 구조 및 브래킷
센서 마운트 및 차폐 요소
프로세스 모듈 내에서 비 임계 (비 플라즈마 직면) 하드웨어
특정 재료 특성이 필요한 정밀 메커니즘
자기 간섭을 최소화하는 것이 유리한 응용
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